Edwards爱德华线半导体干式真空泵（广东 深圳 东莞 惠州 广州 佛山 珠海）
日期：2025-06-19 阅读：1次 作者: 亚投在线app
深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时供给技术上的支撑及售后服务，针对各个职业工艺端规划供给合适的负压真空体系解决计划，为光伏真空设备、科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、校园高真空设备供给优化的真空解决计划。
Edwards爱德华线半导体干式真空泵（广东 深圳 东莞 惠州 广州 佛山 珠海）
高抽气速率：能满意半导体、FPD、太阳能、LED 制作业等范畴逐渐的进步的气体流量要求，高峰值抽取速度可进步出产功率。
可靠性高：在很多300mm半导体和平板工厂中，经过进步制程可靠性完成低具有本钱，经现场运用证明，可按高作业规范运转，延伸惯例运用的寿数、添加运转时刻。
模块化规划：契合当下制程要求，部件可上下堆叠，占地面积小，便于在工厂装置布局，且关于前沿工厂的新运用应战有应对计划。
易于保护：比较杂乱真空泵体系，保护相对简单，但仍需专业技术人员定时保养保护，以确保功能和可靠性。
契合规范：满意UL、CE和S2等首要规范，可习惯不一样区域和职业的安全质量要求。
半导体制作：在PECVD、高K、低K、SACVD、LPCVD、ALD、EPI等半导体制程中运用广泛。
紧凑轻量化：选用紧凑的结构和轻量化规划，在Edwards系列中运用广泛。
以上文字与图片未经赞同不得修正，转载请标明出处。（深圳市托理拆利机电设备有限公司）回来搜狐，检查更加多
相关内容
相关产品